專利：化學氣相沉積涂涂料設備
日期:2013-04-26 08:34
中國新型涂料網訊：
【申請日】： 2003年05月23日
【公開日】： 2004年05月12日
【申請人/專利權人】： 肖特格拉斯公司
【申請人地址】： 聯邦德國美因茨
【發明設計人】： 格雷戈爾阿諾爾德;斯特凡貝勒;安德烈亞斯呂特林豪斯-亨克爾;馬蒂亞斯比克爾
【專利代理機構】： 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
【代理人】： 鄭修哲
【專利類型】： 發明專利
【分類號】： C23C16/00
【申請號/專利號】： 03140988
為了經濟有效地進行長時間的化學氣相沉積涂料，本發明提供了一種化學氣相沉積涂料設備，該設備包括一個傳送裝置；至少一個用于涂料工件的涂料站；至少一個抽空裝置以及一個用來至少在涂料站的一個子區域內形成等離子體的裝置；在該設備中，該至少的一個涂料站內至少能接收兩個工件。