SurfixEX
規格
SurfixSX-FN1.5(探頭可選配)
外部固定探頭
測量范圍
FN1.5(0-1500um)取決于探頭
0 - 1,500m
準確性
+/-（1m+讀數的1％）取決于探頭
+/-（1m+讀數的1％）
解析度
0.1m或0.2％的讀數（使用標準探頭）
0.1m或0.2％的讀數（使用標準探頭）
校準方法
工作校準，零校準，單箔校準;零偏移
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